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真空式等离子处理系统

真空式等离子处理系统

产品详情

名称(Name

真空式等离子处理系统

型号(Model

YR-VPO-8L

控制系统(Control system

PLC+触摸屏

电源(Power supply

380V/AC,50/60Hz,3kw

射频电源功率(RF Power

500W/13.56MHz

容量(Volume

80LOption

层数(Electrode of plies

8Option

有效处理面积(Area

400L*300W)(Option

气体通道(Gas

两路工作气体可选: Ar、N2、H2、CF4、O2

 

超大处理空间,提升处理产能,采用PLC+触摸屏控制系统,精确的控制设备运行。

可按照客户要求定制设备腔体容量和层数,满足客户的需求。

保养维修成本低,便于客户成本控制。

高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。

途:适用于印制线路板行业,半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。印制线路板行业:高频板表面活化,多层板表面清洁、去钻污,软板、软硬结合板表面清洁、去钻污,软板补强前活化。半导体IC领域:COBCOGCOFACF工艺,用于打线、焊接前的清洗;硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。

 


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